一种用于MEMS光学器件的薄膜封帽封装结构及其制造方法

摘要

本发明涉及一种薄膜封帽封装结构及其制造方法，尤其是一种用于MEMS光学器件的薄膜封帽封装结构及其制造方法，具体地说制备得到的薄膜封帽能够满足晶圆级和芯片级封装的要求，属于MEMS封装的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述用于MEMS光学器件的薄膜封帽封装结构，包括衬底及位于所述衬底上的MEMS光学结构；所述衬底上设置薄膜封帽，所述薄膜封帽的端部边缘通过键合层与衬底键合固定连接；薄膜封帽与衬底间形成容纳MEMS光学结构的腔体，所述MEMS光学结构位于腔体内。本发明结构紧凑，制造方便，降低了制造成本，气密性好，适应范围广，安全可靠。

主权项

一种用于MEMS光学器件的薄膜封帽封装结构，包括衬底（9）及位于所述衬底（9）上的MEMS光学结构（8）；其特征是：所述衬底（9）上设置薄膜封帽（4），所述薄膜封帽（4）的端部边缘通过键合层（5）与衬底（9）键合固定连接；薄膜封帽（4）与衬底（9）间形成容纳MEMS光学结构（8）的腔体（11），所述MEMS光学结构（8）位于腔体（11）内。