单片杯式旋转蚀刻装置

摘要

本发明公开了一种单片杯式旋转蚀刻装置，其包括储液槽、杯子腔体、循环泵和晶圆正反旋转锁定装置，循环泵恰能把盛装于储液槽内的蚀刻混合液输送到杯子腔体内；晶圆正反旋转锁定装置恰可拆卸固定晶圆并带动晶圆做正反方向旋转；以杯子腔体的开口方向为上方作为基准，晶圆正反旋转锁定装置设于杯子腔体的正上方，且安装于晶圆锁定装置上的晶圆至少位于杯子腔体的开口面以下。该单片杯式旋转蚀刻装置，不仅结构简单、使用方便，而且蚀刻产品时效率高、均匀性好，且便于蚀刻药液的回收重复利用。

主权项

一种单片杯式旋转蚀刻装置，其特征在于：其包括储液槽(1)、杯子腔体(2)、循环泵(3)和晶圆正反旋转锁定装置(4)，所述循环泵恰能把盛装于所述储液槽内的蚀刻混合液输送到所述杯子腔体内；所述晶圆正反旋转锁定装置恰可拆卸固定晶圆并带动所述晶圆做正反方向旋转；以杯子腔体的开口方向为上方作为基准，所述晶圆正反旋转锁定装置设于所述杯子腔体的正上方，且安装于所述晶圆锁定装置上的晶圆至少位于所述杯子腔体的开口面以下。