测定硝酸浓度的方法

摘要

本发明涉及硅衬底的湿法化学处理领域。本发明尤其涉及一种用于测定水性处理液中的硝酸浓度的方法，所述水性处理液用于处理诸如由硅制成的衬底。该方法是基于使用消除剂的UV光谱法/光度法进行的硝酸根离子的测定，所述消除剂有效除去由其他物质引起的干扰吸收。硝酸根离子的浓度对应于硝酸的浓度。根据本发明，提供一种确实的方法，使用该方法可以非常精确地测定酸混合物中的硝酸的含量，特别是在未使用的酸混合物中，对应于使用目的而使用过的酸混合物中也可以同样测定。

主权项

一种方法，其用于在形成NOx化合物的硅衬底的湿法化学处理过程中测定包含硝酸和含氟化合物的水性介质中的硝酸浓度，所述方法如下进行：存在消除硝酸根离子的UV吸收光谱中因NOx引起的干扰的至少一种消除剂的情况下，或者使用所述消除剂的情况下，利用UV光谱法/光度法测定硝酸根离子浓度。