一种利用超短脉冲激光的透明材料切割方法及切割装置

摘要

一种利用超短脉冲激光的透明材料切割方法，通过聚光装置将从超短脉冲激光发生装置输出的超短脉冲激光进行聚光形成聚束激光束，聚束激光束从被加工的透明材料的表面入射，激光作用点中心折射率上升形成沿激光发射方向的波导结构，激光沿波导结构向材料内部传输，在传输过程中同时持续产生沿激光发射方向的波导结构，直到整个波导结构和激光贯穿透明材料，然后使激光垂直于透明材料的表面匀速移动即可在透明材料中形成一个波导平面。本发明还提供一种利用超短脉冲激光的透明材料切割装置。本发明切割速度快、切缝小、无耗材、无粉尘污染，加工后的材料在承受适当外力时，材料只会沿应力缺陷面断裂，断裂面几乎无锥度，粗糙度良好。

主权项

一种利用超短脉冲激光的透明材料切割方法，其特征在于：通过聚光装置将从超短脉冲激光发生装置输出的超短脉冲激光进行聚光形成聚束激光束，所述聚束激光束从被加工的透明材料的表面入射，所述聚束激光束在材料上引起折射率的变化，激光作用点中心折射率上升形成沿激光发射方向的波导结构，激光沿波导结构向材料内部传输，在传输过程中同时持续产生沿激光发射方向的波导结构，直到整个波导结构和激光贯穿透明材料，然后使激光垂直于所述透明材料的表面匀速移动即可在透明材料中形成一个波导平面。