发明名称 洁净内衬容器用漏点检测装置
摘要 一种洁净内衬容器用漏点检测装置,属于检测洁净内衬容器漏点的检测装置技术领域。所述的洁净内衬容器包括筒体、涂覆于筒体内壁上的涂层以及开设在筒体上的用于供操作者进出筒腔的人孔,其特点是:所述的漏点检测装置包括电阻表、第一导线、第二导线和湿巾,所述的电阻表的一极通过第一导线与筒体的外壁连接,所述的电阻表的另一极通过第二导线与湿巾连接,所述的湿巾与涂层的表面接触。优点:结构简单,检测条件要求低,使用成本低;操作简单,一般人员就可完成;在短时间内可以查找出内衬容器中可能出现的全部漏点,设别漏点速度快,正确率高;对筒体内壁的表面积无任何要求,适用范围广;在操作过程中不会造成对涂层的损伤。
申请公布号 CN202547886U 申请公布日期 2012.11.21
申请号 CN201220141445.8 申请日期 2012.04.06
申请人 江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司 发明人 曹传兴;殷建林
分类号 G01M3/16(2006.01)I 主分类号 G01M3/16(2006.01)I
代理机构 常熟市常新专利商标事务所 32113 代理人 何艳
主权项 一种洁净内衬容器用漏点检测装置,所述的洁净内衬容器包括筒体(1)、涂覆于筒体(1)内壁上的涂层(11)以及开设在筒体(1)上的用于供操作者进出筒腔的人孔(12),其特征在于:所述的漏点检测装置包括电阻表(2)、第一导线(3)、第二导线(4)和湿巾(5),所述的电阻表(2)的一极通过第一导线(3)与筒体(1)的外壁连接,所述的电阻表(2)的另一极通过第二导线(4)与湿巾(5)连接,所述的湿巾(5)与涂层(11)的表面接触。
地址 215522 江苏省苏州市常熟市经济开发区氟化学工业园富虞路18号