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经营范围
发明名称
METHOD FOR MANUFACTURING SINGLE-SIDE MIRROR SURFACE WAFER
摘要
申请公布号
EP1699075(B1)
申请公布日期
2012.11.21
申请号
EP20040819951
申请日期
2004.12.03
申请人
SUMCO CORPORATION
发明人
KOYATA, SAKAE;DENDA, TADASHI;NORIMOTO, MASASHI;TAKAISHI, KAZUSHIGE
分类号
H01L21/306;B24B37/04;H01L21/302
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
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