气浮支撑系统

摘要

本发明公开了一种气浮支撑系统，包括基座、承版台以及两组气浮轴承。基座具有真空管路，承版台具有正压管路。两组气浮轴承对称地设置于承版台的两侧，承版台通过所述两组气浮轴承支撑于基座上方。每一组气浮轴承具有至少一个高压区与至少一个真空区。正压管路用于向高压区补充气体，真空管路用于抽取真空区的气体。本发明提供的气浮支撑系统具有高刚度、无摩擦的特点，同时可降低承版台的设计复杂度和加工难度。

主权项

一种气浮支撑系统，其特征在于，包括：基座，具有真空管路；承版台，具有正压管路；以及两组气浮轴承，对称地设置于所述承版台的两侧，所述承版台通过所述两组气浮轴承支撑于所述基座上方，每一组所述气浮轴承具有至少一个高压区与至少一个真空区，所述正压管路用于向所述高压区补充气体，所述真空管路用于抽取所述真空区的气体。