具有固定结构的极紫外光光罩储存传送盒

摘要

一种具有固定结构的极紫外光光罩储存传送盒，其中在内盒上盖上具有复数个固持件，利用光罩盒外盒上的支撑件，去按压内盒的固持件，间接固定内部的光罩，使内部光罩更安全稳固，不止可降低因搬运时，光罩盒摇晃所可能造成内部光罩碰撞的风险，更大幅减少光罩破损所造成的成本损失。

主权项

一种光罩盒，是将一光罩固定于一内盒中且该内盒容置于一外盒中，该外盒包括：一外盒下盖，具有一第一内表面，且该第一内表面上形成有复数个第一支撑件；一外盒上盖，具有一第二内表面，且该第二内表面上形成有复数个第二支撑件，且于该外盒下盖与该外盒上盖盖合时，该第一内表面与该第二内表面形成一第一容置空间以容置该内盒；及该内盒包括：一内盒下盖，配置于该第一容置空间内并与该复数个第一支撑件接触，且该内盒下盖具有一内盒第一内表面；及一内盒上盖，位于该第一容置空间内，其具有一内盒第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一内盒上盖外表面，且于该内盒下盖与该内盒上盖盖合时，该内盒第一内表面与该内盒第二内表面形成一第二容置空间以容置该光罩，其中，该内盒上盖的特征在于：复数个贯穿孔形成在该内盒上盖的该第二内表面及该外表面之间，且于每一该贯穿孔周围形成一O型凹槽以围绕该贯穿孔，并于该O型凹槽中配置一弹性组件；复数个固持件，配置于每一该贯穿孔中，其位置是与该外盒上盖的每一该第二支撑件相对应，该固持件由一支撑凸柱与一个相应配置于该O型凹槽中的O型凸部所形成，而该支撑凸柱的长度是大于该O型凸部且该支撑凸柱与该O型凸部为一体成型的结构，其中，该O型凸部位于该O型凹槽中且该O型凸部与该弹性组件接触。