| 发明名称 | 一种传送集成电路中晶圆片的真空机械手结构 | ||
| 摘要 | 一种传送集成电路中晶圆片的真空机械手结构，包括机械手主体（1）、真空槽端盖板（2），所述的机械手主体（1）上平面设置有真空槽端盖板（2），下平面设置有真空槽盖板（3）。本实用新型结构简单合理、传送过程中晶圆片不脱落、且定位可靠。 | ||
| 申请公布号 | CN202549816U | 申请公布日期 | 2012.11.21 |
| 申请号 | CN201220165126.0 | 申请日期 | 2012.04.18 |
| 申请人 | 靖江先锋半导体科技有限公司 | 发明人 | 游利 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 靖江市靖泰专利事务所 32219 | 代理人 | 陆平 |
| 主权项 | 一种传送集成电路中晶圆片的真空机械手结构，包括机械手主体（1）、真空槽端盖板（2），其特征在于：所述的机械手主体（1）上平面设置有真空槽端盖板（2），下平面设置有真空槽盖板（3）。 | ||
| 地址 | 214500 江苏省泰州市靖江市经济开发区城南工业园区北六圩 | ||