接地结构及具有该接地结构的加热器和化学气相沉积设备

摘要

本发明涉及一种接地结构、以及具有所述接地结构的加热器和化学气相沉积设备。接地座具有壳体，用于容放接地连接器，接地连接器用于将电流导向接地蓄电器；位于壳体中的接地夹，所述接地夹为圆筒状以使接地夹内外相通，所述接地夹保持住所述接地连接器使得其内表面与接地连接器的表面接触；一对爪部，从所述接地夹的外表面靠近所述开口部处突出并沿所述外表面延伸，同时彼此间隔距离为所述开口部的宽度；紧固于所述爪部的容配加强件，用于加强接地夹和接地连接器间的结合力；以及连接所述接地夹外表面和接地座的接地线，以将接地电流传到所述接地座。通过加强接地夹和接地连接器间的结合力，可以抑制间隙的形成并因此防止电弧引起的接地连接器的损伤。

主权项

一种接地结构，包括：接地座，具有容放部，用于容放接地连接器，接地电流通过所述接地连接器向外流到外部蓄电器；接地夹，所述接地夹将所述接地连接器保持在所述接地座的容放部中，所述接地夹形成为其侧壁在长度方向上去掉了一部分的圆筒，从而具有开口部，所述圆筒的内部空间与所述接地夹的外部通过所述开口部相通，所述接地夹包住所述接地连接器，使得所述接地连接器的外表面与所述接地夹的内表面接触；一对绊部，从所述接地夹的外表面靠近所述开口部处弯折，彼此间隔距离为所述开口部的宽度；以及电连接至所述接地夹和所述接地座的接地线，所述接地连接器上的接地电流经由所述接地线从所述接地夹流到所述接地座，使得所述接地电流从所述接地连接器流到所述外部蓄电器。