高效、广角、抗干扰、微型激光接收器的制作方法

摘要

本发明公开了一种高效、广角、抗干扰、微型激光接收器的制作方法，用于各种半导体硅激光接收器的制作。其特征在于：1、在光电探测器光敏面周围，制作一个环极，并与芯片的衬底电极相连。光电探测器的底部耗尽层通过环极延伸到表面，构成探测器横向耗尽层。2、用带通窄、抑制度高的滤光片，使在±45°入射透过率可达垂直入射的80％，还增强了抗背景光的能力。3、在金属管帽光窗上蒸低阻导电膜，屏蔽电磁场干扰。4、低噪声放大的光信号，经八阶带通滤波，抑制高、低频噪声和杂波干扰。5、大光敏面的探测器芯片安装在电路板上表面，下表面布电子元器件，并安装在TO-8管座上，用内贴滤光片、外镀导电膜的管帽，封焊即成。

主权项

一种高效、广角、抗干扰、微型激光接收器制作方法。其特征在于：大角度(≤±45°)的光，经带通滤光后，再照射到特殊制作了环极的半导体硅光电探测器的光敏面上，所生成的光电流，经低噪声放大，八阶带通滤波处理后输出，将它们分别粘贴、焊接在混合集成电路板的上下两面，并安装在的TO型管座上，再与光窗玻璃表面镀有导电膜并内部粘贴有滤光片的管帽封接而成。