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经营范围
发明名称
substrate treatment apparatus
摘要
申请公布号
KR101203709(B1)
申请公布日期
2012.11.21
申请号
KR20100084277
申请日期
2010.08.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/677;B65G49/06;G02F1/13
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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