大尺寸片状蓝宝石晶体的生长方法

摘要

本发明涉及蓝宝石晶体的制造技术，具体是一种大尺寸片状蓝宝石晶体的生长方法。其晶体生长过程在单晶生长炉内进行，炉内设置坩埚和导模，晶体生长过程依次包括蓝宝石原料加热、引晶、放肩、等径提拉及冷却步骤；所述单晶生长炉中设置可通入和排出保护气体的保护气体进出气系统和可控制炉内压力的压力控制系统；在蓝宝石原料加热、引晶、放肩、等径提拉步骤中在炉内通入保护气体，通过保护气体进出气系统使炉内保护气体形成流动气体，其进气流量为0.1-50slpm，同时通过压力控制系统使炉内压压力为100pa-90kpa。本发明能够直接生长形成较大尺寸的片状蓝宝石晶体、制造工序简单、材料利用率高、制造成本低。

主权项

一种大尺寸片状蓝宝石晶体的生长方法，其晶体生长过程在单晶生长炉内进行，炉内设置坩埚和导模；晶体生长过程依次包括蓝宝石原料加热、引晶、放肩、等径提拉及冷却步骤；其特征是：所述单晶生长炉中设置可通入和排出保护气体的保护气体进出气系统和可控制炉内压力的压力控制系统；在蓝宝石原料加热、引晶、放肩、等径提拉步骤中在炉内通入保护气体，通过保护气体进出气系统使炉内保护气体形成流动气体，其进气流量为0.1‑50slpm，同时通过压力控制系统使炉内压压力为100pa—90kpa。