发明名称 |
用于集成电路单元接合的机组和方法 |
摘要 |
一种拾取器机组,包括:呈选择性的可变间隔关系的多个拾取器;具有多个凸轮盘的轴,所述凸轮盘与所述轴共轴线并且具有可变厚度;所述凸轮盘与所述拾取器接合并且定位在所述拾取器之间的间隙空间中;其中间隔的选择性可变性是籍由所述轴的旋转使得所述凸轮盘的厚度变化使相应的拾取器沿着平行于所述轴的轴线移动而提供的。 |
申请公布号 |
CN102792433A |
申请公布日期 |
2012.11.21 |
申请号 |
CN201080059262.5 |
申请日期 |
2010.12.23 |
申请人 |
洛克系统私人有限公司 |
发明人 |
杨海春;丁锺才;张德春;林仲振 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;B65H29/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 |
代理人 |
黄威;张小花 |
主权项 |
一种拾取器机组,包括:呈选择性的可变间隔关系的多个拾取器;具有多个凸轮盘的轴,所述凸轮盘与所述轴共轴线并且具有可变厚度;所述凸轮盘与所述拾取器接合并且定位在所述拾取器之间的间隙空间中;其中间隔的选择性可变性是籍由所述轴的旋转使得所述凸轮盘的厚度变化使相应的拾取器沿着平行于所述轴的轴线移动而提供的。 |
地址 |
新加坡新加坡市 |