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发明名称 Apparatus for thin layer deposition and method for manufacturing of organic light emitting display apparatus using the same
摘要
申请公布号 KR101202348(B1) 申请公布日期 2012.11.16
申请号 KR20100031556 申请日期 2010.04.06
申请人 发明人
分类号 C23C14/56;H01L51/56;H05B33/10 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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