SUBSTRATE WITH ELECTRICALLY NEUTRAL REGION

摘要

Die Erfindung betrifft ein Substrat zur Aufnahme zumindest eines elektronischen Elements, insbesondere zumindest eines Halbleiterelements, umfassend eine elektrisch leitfähige erste Schicht zur Kontaktierung des Elements, eine wärmeleitende zweite Schicht zum Abführen von Wärme vom Element und eine elektrisch isolierende dritte Schicht, die zwischen der ersten Schicht und der zweiten Schicht angeordnet ist, so dass die dritte Schicht die erste Schicht von der zweiten Schicht elektrisch isoliert, wobei die dritte Schicht eine Dünnschicht oder eine Glaskeramik oder eine mit Keramik-Pulver gefüllte Polymer-Matrix ist. Die Erfindung betrifft auch ein elektronisches Bauelement, insbesondere Halbleiterbauelement, umfassend zumindest ein Halbleiterelement und ein solches Substrat, wobei das Halbleiterelement auf einer ersten Seite flächig mit der ersten Schicht elektrisch leitend verbunden ist, vorzugsweise über ein Lot, einen leitfähigen Kleber oder eine Silbersinterverbindung und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Substrats, wobei auf eine erste elektrisch leitfähige Schicht eine dritte elektrisch isolierende Schicht durch Sputtern, Aufdampfen, physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), chemische Gasphasenabscheidung (CVD), Laminieren, Aufkleben, Auflöten oder ein Druckverfahren, insbesondere ein Siebdruckverfahren, aufgebracht wird und dass auf die dritte Schicht eine zweite wärmeleitende Schicht durch PVD, Sputtern, Laminieren, Aufkleben, Auflöten, Niedertemperatur-Silbersintern oder ein Druckverfahren, insbesondere ein Siebdruckverfahren, derart aufgebracht wird, dass die zweite Schicht mit der ersten Schicht keinen elektrischen Kontakt hat.