发明名称 Druckkammer für Überdruck oder Unterdruck
摘要 Druckkammer (1) für Überdruck oder Unterdruck mit einem hermetisch abschließbaren Kammergehäuse (3) und mit einer Positionierungsvorrichtung (9) zur Positionierung eines Gegenstands (51) im Inneren des Kammergehäuses (3), wobei die Positionierungsvorrichtung (9) ein äußeres Positionierungsteil (11), das außerhalb des Kammergehäuses (3) angeordnet ist, und ein inneres Positionierungsteil (13) aufweist, das innerhalb des Kammergehäuses (3) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass das äußere Positionierungsteil (11) und das innere Positionierungsteil (13) mit Magneten (43) durch das Kammergehäuse (3) hindurch gekoppelt sind, dass das äußere Positionierungsteil (11) geradlinig beweglich entlang zweier Bewegungsachsen gelagert ist, die nicht parallel zueinander sind, und das innere Positionierungsteil (13) geradlinig beweglich entlang zweier Bewegungsachsen gelagert ist, die nicht parallel zueinander sind, und dass die Bewegungsachsen des äußeren Positionierungsteils (11) im Wesentlichen parallel sind zu den Bewegungsachsen des inneren Positionierungsteils (13).
申请公布号 DE102010054609(B4) 申请公布日期 2012.11.15
申请号 DE201010054609 申请日期 2010.12.15
申请人 DEUTSCHES ELEKTRONEN-SYNCHROTRON DESY 发明人 DOEHRMANN, RALPH;GOGOLIN, SEBASTIAN
分类号 F16J12/00 主分类号 F16J12/00
代理机构 代理人
主权项
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