发明名称 Verfahren zur Fehlererfassung für eine Vorrichtung zur Positionserfassung mit elektromagnetischer Induktion
摘要 Verfahren für eine Fehlfunktionserfassung bei einer Vorrichtung zur Positionsmessung zum Erfassen der Versetzung zwischen zwei Elementen (1, 2), wobei die Vorrichtung folgendes umfasst: einen induktiven Transducer (110), der ein elektrisches Signal basierend auf der Verschiebung zwischen den zwei Elementen (1, 2) ausgibt, der folgendes umfasst: eine treibende Spule (11a, 11b, 12a, 12b), die an einem ersten Element (1) der beiden Elemente (1, 2) angeordnet ist; einen Magnetmodulationsabschnitt (31a, 31b, 41a, 41b), der an einem zweiten Element (2) der beiden Elemente (1, 2) angeordnet ist; und eine Empfangsspulenanordnung, die eine Vielzahl von Empfangsspulen (12a, 22a) entsprechend einer Vielzahl von Positionserfassungsspuren (TR1, TR2) umfasst, wobei die Vorrichtung zur Positionsmessung weiter einen Erfassungsabschnitt (112) umfasst, der eine Fehlfunktionserfassung für den induktiven Tansducer (110) durchführt; wobei das Verfahren zur Fehlfunktionserfassung folgendes umfasst: Bestimmen der relativen Geschwindigkeit zwischen den zwei Elementen (1, 2); Bestimmen (S103) von Bezugssignalwerten...
申请公布号 DE10111975(B9) 申请公布日期 2012.11.15
申请号 DE20011011975 申请日期 2001.03.13
申请人 MITUTOYO CORP. 发明人 KIRIYAMA, TETSURO;MIYATA, TOSHIHARU;HAYASHI, NOBUYUKI;SASAKI, KOUJI;SHIRAISHI, YOSHIAKI
分类号 G01B7/00;G01B7/02;G01B7/06;G01D3/08;G01D5/20;G01R31/02;H01F21/02 主分类号 G01B7/00
代理机构 代理人
主权项
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