实现超声纳米焊接气体传感器优化的方法

摘要

一种传感器技术领域的实现超声纳米焊接气体传感器优化的方法，包括以下步骤：在平面基底上镀覆一对金属电极；利用介电泳沉积法或滴加法在金属电极表面沉积纳米线材料；将传感器放入气体测试系统中进行标定，获得气体传感器对应待测气体的电阻变化曲线、传感器灵敏度和响应时间；取出气体传感器并对纳米线材料和金属电极接触处实施超声纳米焊接，实现对气体传感器的优化。本发明利用超声压焊技术将纳米线与金属电极键合，使得纳米线与金属形成良好的电学接触，从而提高了传感器的灵敏度、缩短了器件的响应时间；同时可以把现有的集成电路封装工艺应用到纳米器件领域，降低了成本，节约能源。

主权项

一种实现超声纳米焊接气体传感器优化的方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步、在平面基底上镀覆一对金属电极；第二步、利用介电泳沉积法或滴加法在金属电极表面沉积纳米线材料,使得纳米线材料与金属电极的两端相连接，形成气体传感器；第三步、将气体传感器放入气体测试系统中进行标定，获得气体传感器对应待测气体的电阻变化曲线、传感器灵敏度和响应时间；第四步、取出气体传感器并对纳米线材料和金属电极接触处实施超声纳米焊接，实现对气体传感器的优化；所述的气体测试系统包括：真空测试腔、气体混合腔、控制测试模块，其中：真空测试腔为圆柱形形状，气体传感器的纳米线材料放置在真空测试腔的内部中央，气体混合腔的输出端与真空测试腔相连，气体混合腔的进气端包括载气输入端和待测气体输入端，气体传感器的金属电极与控制测试模块相连，控制测试模块获得气体传感器的电阻变化曲线、传感器灵敏度和响应时间。