发明名称 | 太阳能电池的电极的制造方法与装置 | ||
摘要 | 一种太阳能电池的电极的制造方法与装置,其中该方法具有下列步骤。进行雷射掺杂处理,以于基材上形成选择性射极。进行雷射标记处理,以于基材表面形成对准标记,其中在同一处理腔室进行雷射掺杂处理与雷射标记处理。根据对准标记,进行电极网印处理,于选择性射极上形成电极。此方法可以避免对准标记与雷射掺杂区(选择性射极)之间产生相对位移,进而减少后续网印处理的误差。本发明可以避免对准标记与雷射掺杂区(选择性射极)之间的相对位移,进而减少后续网印处理的误差。 | ||
申请公布号 | CN102779894A | 申请公布日期 | 2012.11.14 |
申请号 | CN201110122206.8 | 申请日期 | 2011.05.12 |
申请人 | 联景光电股份有限公司 | 发明人 | 黄博声 |
分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 臧建明 |
主权项 | 一种太阳能电池的电极的制造方法,其特征在于,包括:进行雷射掺杂处理,以于基材上形成选择性射极;进行雷射标记处理,以于所述基材表面形成对准标记,其中在同一处理腔室进行所述雷射掺杂处理与所述雷射标记处理;以及根据所述对准标记,进行电极网印处理,于所述选择性射极上形成电极。 | ||
地址 | 中国台湾桃园县观音乡中山路一段1560号 |