发明名称 太阳能电池的电极的制造方法与装置
摘要 一种太阳能电池的电极的制造方法与装置,其中该方法具有下列步骤。进行雷射掺杂处理,以于基材上形成选择性射极。进行雷射标记处理,以于基材表面形成对准标记,其中在同一处理腔室进行雷射掺杂处理与雷射标记处理。根据对准标记,进行电极网印处理,于选择性射极上形成电极。此方法可以避免对准标记与雷射掺杂区(选择性射极)之间产生相对位移,进而减少后续网印处理的误差。本发明可以避免对准标记与雷射掺杂区(选择性射极)之间的相对位移,进而减少后续网印处理的误差。
申请公布号 CN102779894A 申请公布日期 2012.11.14
申请号 CN201110122206.8 申请日期 2011.05.12
申请人 联景光电股份有限公司 发明人 黄博声
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人 臧建明
主权项 一种太阳能电池的电极的制造方法,其特征在于,包括:进行雷射掺杂处理,以于基材上形成选择性射极;进行雷射标记处理,以于所述基材表面形成对准标记,其中在同一处理腔室进行所述雷射掺杂处理与所述雷射标记处理;以及根据所述对准标记,进行电极网印处理,于所述选择性射极上形成电极。
地址 中国台湾桃园县观音乡中山路一段1560号