低温泵及其制造方法

摘要

本发明提供一种用于对氢等非冷凝性气体进行高速排气的低温泵及其制造方法。低温泵（10）具备：多个低温吸附板（50）的排列（14），其被向低温泵开口（31）开放的低温泵内部开放空间（30）包围；及放射护罩（16），包围低温泵内部开放空间（30）。多个低温吸附板（50）的至少1个包含向低温泵内部开放空间（30）突出并朝向放射护罩（16）的板末端，该板末端具有吸附剂脱落的区域（82）。

主权项

一种低温泵，其特征在于，具备：制冷机，其包含用于提供第1冷却温度的第1冷却台及用于提供低于该第1冷却温度且在非冷凝性气体的吸附中使用的第2冷却温度的第2冷却台；放射护罩，其包含形成接收气体的开口的护罩前端，该放射护罩热连接于第1冷却台并包围第2冷却台；及低温板组件，其热连接于第2冷却台，在其外周部与放射护罩之间形成朝向所述开口的开放空间，能够从护罩前端观察到该低温板组件的至少一部分，低温板组件包含：顶板，面向所述开口；及中间板，包含朝向所述开口的板前表面，且相对于顶板配设在所述开口的相反侧，与中间板的板前表面对置的邻接的低温板和该板前表面之间形成与所述开放空间连续的开放部分，该开放部分其深度大于该邻接的低温板和该板前表面之间的间隔，所述中间板在板前表面具有用于非冷凝性气体的吸附区域，该吸附区域形成在通过从所述放射护罩前端至所述邻接的低温板的末端的视线和所述板前表面的交叉确定的边界的内侧。