| 发明名称 | 晶圆清洗方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆清洁方法，其包含：(1)提供一晶圆清洗设备，包含有一清洁海棉头，用来刷洗一待清洗晶圆的一表面；(2)进行一预调整流程，利用一虚设晶圆对清洁海棉头进行预调整；以及(3)进行一标准清洗流程，用经过预调整的该清洁海棉头刷洗待清洗晶圆的表面。虚设晶圆的表面上包含有多个向上突出的结构，用来将该清洁海棉头上的剩余纤维或剩余物刮除。 | ||
| 申请公布号 | CN102779726A | 申请公布日期 | 2012.11.14 |
| 申请号 | CN201110192817.X | 申请日期 | 2011.07.07 |
| 申请人 | 南亚科技股份有限公司 | 发明人 | 刘立中;陈逸男;刘献文 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;B08B1/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人 | 江耀纯 |
| 主权项 | 一种晶圆清洗方法，其特征在于包含有：提供一晶圆清洗设备，包含有一清洁海棉头，用来刷洗一待清洗晶圆的一表面；进行一预调整流程，利用一虚设晶圆对该清洁海棉头进行预调整；以及进行一标准清洗流程，以该经过预调整的该清洁海棉头刷洗该待清洗晶圆的该表面。 | ||
| 地址 | 中国台湾桃园县 | ||