一种调平调焦机构及采用该调平调焦机构的掩模台

摘要

本发明涉及一种调平调焦机构及采用该调平调焦机构的掩模台。该调平调焦机构包括球头差动微调机构和调平簧片，所述球头差动微调机构通过球头与所述调平簧片的边缘部分进行球面连接，所述调平簧片的边缘部分安装在掩模台底座下方，所述球头差动微调机构与所述调平簧片的中间部分安装在整机框架的上方。所述调平调焦机构通过差动螺纹提供一种结构简单、操作方便、精度可达微米级的垂向调节机构，并通过球面连接和柔性铰链的组合，很好的解决了Rx、Ry方向的解耦问题。本发明能在保证微米级调节精度的前提下，大幅度降低掩模台分系统垂向调节方案的复杂性，并大大节省了掩模台分系统与整机框架间的垂向安装高度。

主权项

一种调平调焦机构，其特征在于，该调平调焦机构包括球头差动螺旋微调机构和调平簧片，所述调平簧片由边缘连接块、柔性铰链和中心连接块依次由边缘至中心连接而成，所述调平簧片的边缘连接块带有球面支撑孔，所述球头差动螺旋微调机构通过球头与所述调平簧片的边缘部分进行球面连接，所述调平簧片的边缘部分安装在掩模台底座下方，所述球头差动螺旋微调机构与所述调平簧片的中间部分安装在整机框架的上方，所述球头差动螺旋微调机构用以实现垂向调节，并且与所述调平簧片球面连接用以实现Rx、Ry两个方向的解耦。