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发明名称 OXIDATION APPARATUS AND METHOD FOR SEMICONDUCTOR PROCESS, AND COMPUTER READABLE MEDIUM
摘要
申请公布号 KR101201632(B1) 申请公布日期 2012.11.14
申请号 KR20070105427 申请日期 2007.10.19
申请人 发明人
分类号 C23C8/10;H01L21/316 主分类号 C23C8/10
代理机构 代理人
主权项
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