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发明名称 Plasma generation device, plasma control method, and substrate manufacturing method
摘要
申请公布号 KR101199994(B1) 申请公布日期 2012.11.12
申请号 KR20117019922 申请日期 2003.12.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C14/54;G02F1/13;H01J37/32;H05H1/46 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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