对准装置

摘要

本发明提供一种对准装置，可将整个装置小型轻量化，可减低将工件位置对准之负荷，并可减低耗电。本发明之对准装置30具有彼此分开之四个对准载台31，且以各自设于对应之一个对准载台31的四个对准工作台AT支撑面板。使位于四处之对准工作台AT经由连结杆40a、40b、41a、41b而连动，而使以对准工作台AT支撑之面板依位置偏差而左旋转移动、右旋转移动、右侧平行移动、左侧平行移动、后侧平行移动或前侧平行移动，以使面板对遮光罩的位置偏差为零。

主权项

一种对准装置，系放置于底座之上面，使工件在一个方向及对前述一个方向正交之其他方向移动，并且水平旋转，以进行前述工件之位置对准，其特征为具备：二个第一移动块，其系分别可沿着前述一个方向来回移动地设于摆在前述底座之上面而形成正方形或长方形的四个顶点中，在一方对角线上的一对顶点位置；二个第二移动块，其系分别可沿着前述其他方向来回移动地设于前述四个顶点中，在另一方对角线上的一对顶点位置；二个第一驱动部，其系其各自使前述第一移动块对应之一个沿着前述一个方向来回移动；二个第二驱动部，其系其各自使前述第二移动块对应之一个沿着前述其他方向来回移动；二个第一旋转工作台，其系各自可水平旋转地被支撑，并且可沿着前述其他方向而来回移动地设于前述对应之第一移动区块的上面；二个第二旋转工作台，其系各自可水平旋转地被支撑，并且可沿着前述一个方向而来回移动地设于前述对应之第二移动块的上面；二个第一连结构件，其系将前述二个第一旋转工作台与前述二个第二旋转工作台分别连结于前述一个方向；二个第二连结构件，其系将前述二个第一旋转工作台与前述二个第二旋转工作台分别连结于前述其他方向；及四个对准工作台，其系合作支撑前述工件，且其各自设于前述第一旋转工作台及前述第二旋转工作台中对应的一个。如申请专利范围第1项之对准装置，其中前述第一连结构件及第二连结构件各自系管。如申请专利范围第1项或第2项之对准装置，其中前述底座以第一昇降部而来回移动于上下方向。如申请专利范围第3项之对准装置，其中进一步具备四个第二昇降部，其系各自配置于前述第一旋转工作台及前述第二旋转工作台中对应的一个，而使对应之对准工作台来回移动于上下方向。如申请专利范围第3项之对准装置，其中在前述底座之上方位置，隔着间隔保持构件而平行地配置交接板，前述交接板具有收容凹部，其系凹设于其上面，而从前述交接板之上面可突出地收容前述对准工作台，在前述底座之下方位置配置有固定座，前述固定座具有复数个交接销，其系配置于其上面，并藉由前述第一昇降部之开动，贯穿前述底座及前述交接板，而可从前述交接板之上面出没。如申请专利范围第5项之对准装置，其中具备四个第二昇降部，其系各自配置于前述第一旋转工作台及前述第二旋转工作台中对应的一个，而使对应之对准工作台来回移动于上下方向。如申请专利范围第6项之对准装置，其中使前述工件浮起之工件浮起机构配置于前述交接板上。如申请专利范围第1项或第2项之对准装置，其中具备可选择性执行之水平旋转模式及平行移动模式，前述水平旋转模式为了使前述第一旋转工作台及前述第二旋转工作台水平旋转，而全部驱动前述二个第一驱动部及前述二个第二驱动部，前述平行移动模式为了使前述第一旋转工作台及前述第二旋转工作台平行移动，而驱动前述二个第一驱动部或前述二个第二驱动部。