具有照明设备之缺陷检测装置

摘要

一种具有照明设备之缺陷检测装置，包含有第一与第二取像单元，可分别自不同的角度取得待测物影像，照明光源装置安装于取像单元之邻近处，而发射照明光束，第一光学镜片设置于照明光束的光路上，照明光束照射于第一光学镜片后将部分反射，使第一取像单元得以取得待测物的影像，照明光束也将部分穿透第一光学镜片，而照射于第二光学镜片，此时第二光学镜片将反射照明光束于待测物上，让第二取像单元取得待测物另一个角度的影像。

主权项

一种具有照明设备之缺陷检测装置，可检测一待测物之缺陷，其特征在于包括：一第一取像单元，设置于所述待测物之一第一侧，用以撷取所述待测物之影像；一第二取像单元，位于所述待测物之所述第一侧，邻设于所述第一取像单元，用以撷取所述待测物之影像；一照明光源装置，位于所述待测物之所述第一侧，邻设于所述第二取像单元，可产生一照明光束；一第一光学镜片，位于所述待测物之所述第一侧，设置于所述照明光束之光路上；以及一第二光学镜片，位于所述待测物之所述第一侧；其中，所述照明光束发射至所述第一光学镜片后，将部分反射所述照明光束而产生一第一照明反射光束，而照射于所述待测物之所述第一侧的表面，所述第一取像单元利用所述第一照明反射光束，而取得所述待测物之影像；所述照明光束发射至所述第一光学镜片后，将部分穿透所述第一光学镜片，再照射于所述第二光学镜片，所述第二光学镜片可反射所述照明光束而产生一第二照明反射光束，照射于所述待测物之所述第一侧的表面，所述第二取像单元利用所述第二照明反射光束，取得所述待测物之影像。