气体流量控制装置

摘要

本实用新型公开了一种气体流量控制装置，包括控制单元、以及与所述控制单元分别连接的比例阀和质量流量传感器。本实用新型通过采用质量流量传感器实时测量气体的流量，并使控制单元对所述流量信息进行处理后向比例阀发出控制命令，比例阀对气体的流量进行调节，本实用新型控制精度较高，稳定性较好，并且其体积小巧、结构紧凑。本实用新型由于采用了质量流量传感器，其在工作过程中既不受环境温度影响，又不受前后端气压的影响。

主权项

一种气体流量控制装置，其特征在于，包括控制单元以及与所述控制单元分别连接的比例阀和质量流量传感器。