发明名称 |
绝对式光栅尺 |
摘要 |
本发明涉及一种绝对式光栅尺,其包括一标准光栅、一光电探测器、及一光源,其中,该绝对式光栅尺进一步包括一扫描掩膜,该光源发出光线,经由该扫描掩膜射入该标准光栅,该光电探测器接收到绝对位置信号、参考位置信号及细分信号。该参考位置信号包括两路,其中一路为二半透光信号的组合,另一路为一完全不透光信号和一完全透光信号的组合。该绝对式光栅尺具有读数电路简单的优点。 |
申请公布号 |
CN102095379B |
申请公布日期 |
2012.11.07 |
申请号 |
CN201010575398.3 |
申请日期 |
2010.12.07 |
申请人 |
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
发明人 |
曾琪峰;乔栋;孙强 |
分类号 |
G01B11/02(2006.01)I;G01D5/347(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/02(2006.01)I |
代理机构 |
长春菁华专利商标代理事务所 22210 |
代理人 |
张伟 |
主权项 |
一种绝对式光栅尺,其包括一标准光栅、一光电探测器、及一光源,其特征在于:该绝对式光栅尺进一步包括一扫描掩膜,该光源发出光线,经由该扫描掩膜射入该标准光栅,该光电探测器探测由该标准光栅滤光形成的光信号,分别为绝对位置信号、参考位置信号及细分信号,其中,该参考位置信号包括两路,其中一路为两个半透光信号的组合,另一路为一完全不透光信号和一完全透光信号的组合。 |
地址 |
130033 吉林省长春市东南湖大路3888号 |