声表面波器件及声表面波振荡器

摘要

本发明提供一种声表面波器件，可以减小电极指的线宽变动时的频率变动量的差别，并且适合于批量生产。声表面波器件(10)具有作为至少激励瑞利波式声表面波的电极图案(14)的IDT(16)，激励所述声表面波的阻带的上限模式，所述声表面波器件的特征在于，用于形成IDT(16)的压电基板(12)采用晶体基板，该晶体基板是以利用(，θ，ψ)表示的欧拉角为(0°，95°≤θ≤155°，33°≤|ψ|≤46°)的切角切取的，在构成IDT(16)的梳齿状电极(18(18a、18b))的电极指之间形成电极指间槽(槽28)，把由槽(28)夹持的晶体部分作为电极指座(30)，电极指(22)位于电极指座(30)的上面。

主权项

1.一种声表面波器件，具有作为至少激励瑞利波式声表面波的电极图案的IDT，激励所述声表面波的阻带的上限模式，所述声表面波器件的特征在于，用于形成所述IDT的压电基板采用晶体基板，该晶体基板是以利用θ，ψ)表示的欧拉角为(0°，95°≤θ≤155°，33°≤|ψ|≤46°)的切角切取的，在构成所述IDT的梳齿状电极的电极指之间形成电极指间槽，把由所述电极指间槽夹持的晶体部分作为电极指座，所述电极指位于该电极指座的上面，把构成的所述IDT的所述电极指的线占有率η设为0.8±y，所述IDT的电极材料设为铝、铝合金、银、钨、钽、或铜中的任意一种，或者以其中任意一种为主成分的合金，在使用合金作为电极材料时，除作为主成分的金属以外的金属设定为重量比在10％以下，在把将所述电极指座的厚度Hd除以所述电极指的膜厚与所述电极指座的厚度的合计厚度H而得到的值设为Hd/H时，所述y与所述Hd/H的关系满足y＝0.1825×(Hd/H)⁴-0.1753×(Hd/H)³+0.0726×(Hd/H)²-0.0058×(Hd/H)+0.0085，所述Hd/H为0.167以上。