一种快速响应的电阻式气体传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种快速响应的电阻式气体传感器，其特征在于：①包括N个结构相同的传感器单元和一个时钟控制电路模块，N为偶数且大于或者等于2；②每个传感器单元都由设置在同一基片上的加热器和两个叉指电极构成，两个叉指电极的电极片分别均匀地穿插在所述加热器的呈迂折状的电极片的上下两侧，各自独立且不与加热器接触；③所述时钟控制电路模块对应接口分别和N个传感器单元的加热器电极连接并控制每个传感器单元的工作状态。该传感器结构简单，生产成本低，对制备工艺要求不高，有效地解决了基于敏感膜气体吸附的电阻式传感器在同一温度下解析慢的缺点，增强了传感器检测的准确性和实时性。

主权项

一种快速响应的电阻式气体传感器，其特征在于：①包括N个结构相同的传感器单元和一个时钟控制电路模块，N为偶数且大于或者等于2；②每个传感器单元都由设置在同一基片上的加热器和两个叉指电极构成，两个叉指电极的电极片分别均匀地穿插在所述加热器的呈迂折状的电极片的上下两侧，各自独立且不与加热器接触；③所述时钟控制电路模块对应接口分别和N个传感器单元的加热器电极连接并控制每个传感器单元的工作状态：使其中一半的传感器单元在最佳吸附温度下进行气体吸附并正常工作，而同时另一半传感器单元则在最佳解析温度下解析并且不工作；经过一定时间间隔后，两部分传感器单元交换工作状态。