大功率激光器模块化光学谐振腔

摘要

一种大功率激光器模块化光学谐振腔，属于光学谐振腔技术领域。包括前窗口镜模块、后反射镜模块和中折转镜模块，前窗口镜模块和后反射镜模块分别通过角度调整模块、位置调整模块设置在激光器箱体的一侧，中折转镜模块为两组，之间通过长波纹管组件连接，并分别通过角度调整模块、位置调整模块设置在激光器箱体的另一侧，后反射镜模块和中折转镜模块的角度调整模块上均设有光轴监控摸块。本发明通过光轴监控系统对光学谐振腔的微量变化进行监控和补偿，实现了“零”误差的稳定光腔系统；能够实现对腔镜位置和角度的实时高精度监测和可靠快捷的调整。本发明省略了光腔的支承系统，实现“无桥”的模块化结构系统。

主权项

一种大功率激光器模块化光学谐振腔，其特征在于：包括前窗口镜模块、后反射镜模块和中折转镜模块，前窗口镜模块和后反射镜模块分别通过角度调整模块、位置调整模块设置在激光器箱体的一侧，中折转镜模块为两组，之间通过长波纹管组件连接，并分别通过角度调整模块、位置调整模块设置在激光器箱体的另一侧，后反射镜模块和中折转镜模块的角度调整模块上均设有光轴监控摸块；所述的前窗口镜模块包括窗口镜、前冷体、后冷体、前压盖、后压盖、密封体、标准定位法兰及标准冷光阑，在窗口镜两端分别通过前冷体、后冷体安装前压盖、后压盖，在前压盖、后压盖内的前冷体、后冷体间安装有带冷却水槽的密封体，使窗口镜密封在前压盖、后压盖内的前冷体、后冷体间，前冷体、后冷体和密封体间形成密闭水循环通道，标准定位法兰一端与后压盖密封连接，一端与标准冷光阑密封连接，标准定位法兰和标准冷光阑上分别设有水槽，形成密闭水循环通道；所述的后反射镜模块包括全反凹镜、铜镜安装法兰、镜定位法兰和镜冷光阑，全反凹镜置于镜定位法兰的内槽中，铜镜安装法兰置于全反凹镜的一侧，与全反凹镜和镜定位法兰分别密封连接，镜冷光阑置于全反凹镜的另一侧，与镜定位法兰配合密封连接，铜镜安装法兰上设有通至全反凹镜的冷却水槽，镜定位法兰和镜冷光阑上分别设有相连通的水槽；所述的中折转镜模块包括折转镜镜座、平面铜反镜和铜镜安装法兰，折转镜镜座带有与水平面成45°的槽口，平面铜反镜通过铜镜安装法兰密封安装在折转镜镜座的槽口上，使平面铜反镜折中心位于折转镜镜座的轴线上，在铜镜安装法兰上设有通至平面铜反镜的冷却水槽；所述的位置调整模块包括与激光器箱体连接的密封方法兰和可调方法兰，该密封方和可调方法兰密封连接，调整可调方法兰中心轴位置时，安装有校准规的校准法兰与可调方法兰密封连接；所述的角度调整模块包括调整法兰、固定法兰、短波纹管组件和三个均布的调整锁紧机构，调整法兰和固定法兰通过调整锁紧机构连接，短波纹管组件是在波纹管两端设有带密封槽的连接法兰，位于调整法兰和固定法兰之间并与调整法兰和固定法兰分别密封连接；所述的光轴监控摸块包括监控套、半导体激光器、固定螺母、压环和尼龙环，半导体激光器通过压环安装于监控套内，在压环和半导体激光器间设有尼 龙环，压环带有内孔，半导体激光器的电源线通过尼龙环和压环引出。