硅片切割废液采用泡沫浮选回收分离硅和碳化硅粉体方法

摘要

本发明涉及一种新能源硅产业硅片切割废废液中固体回收循环再利用工艺，特别是硅片切割废液采用泡沫浮选回收分离硅和碳化硅粉体方法。本发明包括如下步骤：通过使用分离剂对切割废液进行固液分离，分离出固体物和液体；其中固体份经蒸馏水洗涤至中性，离心烘干备用；将制成的固体物与浮选剂混合成悬浊液，调整至所需pH值后搅拌；将悬浊液加入到浮选机，以一定转速搅拌的同时，从下部通入所需流量气体，进行浮选实验；过滤回收泡沫及沉淀物粒子，经洗涤，干燥，获得碳化硅和硅粉体。本发明可以有效回收分离硅片切割工艺产生切割废液中硅和碳化硅粉体，很大程度上降低了硅片加工成本，不仅实现了资源的回收利用而且对环境保护做出了贡献，是一种解决资源短缺的实用技术。

主权项

硅片切割废液采用泡沫浮选回收分离硅和碳化硅粉体方法，其特征是，包括下述步骤：(1)在切割废液中添加分离剂进行固液分离得到固体物；(2)用蒸馏水洗涤所得的固体物至中性，离心干燥备用；(3)配成含固体物与浮选剂混合成悬浊液，调整至所需的PH值后搅拌；(4)将悬浊液加入到浮选机，以一定转速搅拌的同时，从下部通入所需流量的气体，进行浮选试验；(5)收集上浮泡沫及沉淀物的粒子，过滤，水洗，干燥，获得碳化硅和硅粉体。