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发明名称 AN EPITAXIAL WAFER AND A METHOD FOR PRODUCING IT
摘要
申请公布号 EP1420440(B1) 申请公布日期 2012.11.07
申请号 EP20020762823 申请日期 2002.08.21
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 TOBE, SATOSHI
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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