发明名称 半导体装置
摘要 本发明提供一种半导体装置,其所具有的起动电路具备出色的特性,且适于IC化。形成有在N型外延层(12)形成,并规定漏极区域(121)的P型元件分离区域(13)。在漏极区域(121)内形成基体区域(15),在基体区域(15)内形成N型源极区域(16)。在漏极区域(121)与源极区域(16)之间的沟道区域上配置栅电极(20),形成LDMOS。经由漏极区域(121)、作为栅极发挥功能的P型分离区域(13)和P型元件分离区域(13)基于对漏极区域(121)施加的电压而被反向偏置、使耗尽层延伸的沟道区域,配置JFET的源极引出层(23),形成JFET。
申请公布号 CN101714558B 申请公布日期 2012.11.07
申请号 CN200910178569.6 申请日期 2009.09.29
申请人 三垦电气株式会社 发明人 相沢和也
分类号 H01L27/098(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L29/808(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/08(2006.01)I;H01L29/38(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/266(2006.01)I 主分类号 H01L27/098(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 雒运朴;李伟
主权项 一种半导体装置,其特征在于,具备:第一导电型层(11);形成在所述第一导电型层(11)上的第二导电型层(12);第一导电型元件分离区域(13),其从所述第二导电型层(12)的表面区域到所述第一导电型层(11),规定作为第二导电型漏极区域(121)发挥作用的元件区域;形成于所述元件区域的第一导电型第一区域(15);形成于该第一导电型第一区域(15)的第二导电型第一源极区域(16);栅极绝缘膜(19),其形成在场绝缘膜(18)与所述第一源极区域(16)之间的沟道区域上,该场绝缘膜(18)按照对在所述第二导电型漏极区域(121)的中央部的表面区域形成的漏极引出区域(14)进行包围的方式形成在所述第二导电型漏极区域(121)上;和第一栅电极(20),其形成在所述场绝缘膜(18)的端部之上与栅极绝缘膜(19)之上;所述第一导电型元件分离区域(13)具有:在一部分形成开口部(133)且规定所述第二导电型漏极区域(121)的环路状部(131);和对通过所述开口部(133)与所述第二导电型漏极区域(121)连接的第二导电型延伸区域(122)进行规定的部分(132);还具备形成在所述第二导电型延伸区域(122)的所述第二导电型第二源极区域(23)。
地址 日本埼玉县