真空旋转动力传输装置

摘要

一种真空旋转动力传输装置，其主要是由设置于真空系统之腔壁上的轴套组、穿设于轴套组之旋转轴以及连结并驱动旋转轴之传动组所组成。轴套组之座体具有穿孔可供旋转轴穿设，且于穿孔中对应旋转轴间隔设置有第一轴承组、第二轴承组、密封环及轴封件，轴封件系设置于远离真空系统之一侧，且轴封件远离真空系统之一端向中心延伸有一薄片状之唇状突缘，使旋转轴穿过时会将唇状突缘朝远离真空系统之方向扩延且包覆于旋转轴外缘，而能藉由大气压力将唇状突缘压抵于旋转轴上，形成阻绝大气进入直空系统的环形屏障，以确保真空系统之真空度。

主权项

一种真空旋转动力传输装置，其系包括：一旋转轴，系用以传递动力；一轴套组，其具有一座体，该座体一端向外延伸有一凸缘，俾供固定于真空系统之腔壁上，该座体中央具有一穿孔，以供该旋转轴穿设，该座体于该穿孔中对应该旋转轴间隔设置有一第一轴承组、一第二轴承组、至少一个之密封环及一轴封件，该第一、二轴承组系供承载该旋转轴旋转，并且该轴封件系设置于远离凸缘之一侧，且该轴封件远离该凸缘之一端向中心延伸有一薄片状之唇状突缘，使该旋转轴穿过时会将该唇状突缘朝远离该凸缘之方向扩延而包覆于该旋转轴外缘；一传动组，其系连结于该旋转轴穿出该座体且远离凸缘的一段，俾以驱动该旋转轴转动。依申请专利范围第1项所述之真空旋转动力传输装置，其中该轴套组之密封环系设置于该第一轴承组与该第二轴承组之间。依申请专利范围第1项或第2项所述之真空旋转动力传输装置，其中该密封环的断面系略呈方形并于四个角隅分别形成一圆弧形之唇缘，且于同侧的两唇缘之间分别形成一凹弧部。依申请专利范围第3项所述之真空旋转动力传输装置，其中该密封环之凹弧部与该旋转轴之间填充有高真空油脂。依申请专利范围第1项所述之真空旋转动力传输装置，其中该轴封件对应该旋转轴具有一孔而略呈环状，该孔中段具有一环状的凹部，该凹部系可供积存高真空油脂，且该孔于该唇状突缘之一端系形成一内径较小之小径部。依申请专利范围第1项所述之真空旋转动力传输装置，其中该轴封件系由工程橡塑胶所制成。依申请专利范围第1项所述之真空旋转动力传输装置，其中该轴封件外缘面具有一环沟，该环沟中套设有一O型环，俾以保持该轴封件与该座体间之气密效果。依申请专利范围第1项所述之真空旋转动力传输装置，其中该第一轴承组系设置于该穿孔邻靠该凸缘之一端。依申请专利范围第1项所述之真空旋转动力传输装置，其中，其系该第一轴承组与该第二轴承组系可为自润轴承、滚珠轴承等其中之一。依申请专利范围第1项所述之真空旋转动力传输装置，其中该座体之凸缘设有多数通孔，以分别供螺栓穿设而锁固于前述真空系统之腔壁。依申请专利范围第1项所述之真空旋转动力传输装置，其中该座体于紧邻该凸缘的一端面设有一环槽，以供容设一O形环，俾以保持前述真空系统之腔壁与座体间之密合。依申请专利范围第1项所述之真空旋转动力传输装置，其中该座体于该穿孔邻靠该轴封件之一端固设有一个压环，俾以迫紧固定该轴封件。依申请专利范围第12项所述之真空旋转动力传输装置，其中该压环系由复数个螺丝锁固于该座体，且该压环之一端具有一凸环，该凸环系延伸至该穿孔中并抵压于该轴封件，俾以迫紧固定该轴封件。依申请专利范围第13项所述之真空旋转动力传输装置，其中该压环由该凸环之一端凹设有一凹槽，该凹槽中套设有一界面轴承，该界面轴承之一面靠抵于该凹槽之内缘面，且该界面轴承之另一面则靠抵于一轴扣环，而该轴扣环系嵌扣于该旋转轴，藉以形成该旋转轴与该轴套组之轴向定位作用。依申请专利范围第1项所述之真空旋转动力传输装置，其中该旋转轴系为中空形态而具有一内孔，且该旋转轴的一端系为封闭端，该封闭端系穿过该轴套组而伸入前述之真空系统中。依申请专利范围第15项所述之真空旋转动力传输装置，其中该封闭端结合有一导轮以供连结前述之真空系统中的对应装置运转。依申请专利范围第16项所述之真空旋转动力传输装置，其中该导轮系为摩擦轮、齿轮或蜗轮等其中任一结构。依申请专利范围第15项所述之真空旋转动力传输装置，其中该旋转轴于该内孔中穿设有一冷却水管，该冷却水管与该内孔于相对于该封闭端的一端与一冷却组连通。依申请专利范围第18项所述之真空旋转动力传输装置，其中该冷却组具有一本体，该本体一端藉由一轴承组件枢设有一旋转接头，该旋转接头系结合于该旋转轴，使该旋转接头及该旋转轴可相对于本体而转动。依申请专利范围第19项所述之真空旋转动力传输装置，其中该本体对应该旋转轴之内孔具有一流道，该流道系与一出水接头相连通，且该本体对应该冷却水管设有一进水接头。依申请专利范围第1项所述之真空旋转动力传输装置，其中该传动组至少具有一个传动轮，该传动轮系以键及或螺栓固定于该旋转轴。依申请专利范围第21项所述之真空旋转动力传输装置，其中该传动轮系为一齿皮带轮。依申请专利范围第21项所述之真空旋转动力传输装置，其中该传动轮与该座体之间设有一乾式自润轴承。依申请专利范围第21项所述之真空旋转动力传输装置，其中该旋转轴在该传动轮远离该座体之一侧嵌扣有一轴扣环，以限定该旋转轴之轴向定位。