遮罩总成以及镀膜机台

摘要

一种镀膜机台，用以在基材上的镀膜区域上进行镀膜。此镀膜机台包括镀膜腔室、阴极载台、阳极载台以及遮罩总成。镀膜腔室具有腔室开口。阴极载台配置于腔室开口以盛放靶材，而阳极载台配置于镀膜腔室内以承载基材。遮罩总成配置于腔室开口，并位于阴极载台与阳极载台之间。此遮罩总成包括遮罩本体以及挡板。遮罩本体具有开孔。基材位于遮罩本体的第一侧，而开孔暴露出镀膜区域。挡板位于开孔旁，并且立于遮罩本体背对基材的第二侧。

主权项

一种遮罩总成，用以在一基材上定义一镀膜区域，该遮罩总成包括：一遮罩本体，具有一开孔，该基材位于该遮罩本体的一第一侧，而该开孔暴露出该镀膜区域；以及一挡板，位于该开孔旁，并且立于该遮罩本体背对该基材的一第二侧。如申请专利范围第1项所述之遮罩总成，其中该挡板由该开孔朝向该遮罩本体的外缘倾斜。如申请专利范围第1项所述之遮罩总成，其中该挡板围绕该开孔。如申请专利范围第3项所述之遮罩总成，其中该挡板与该开孔间隔一距离。如申请专利范围第1项所述之遮罩总成，其中该遮罩本体包括：一主框架，具有相对的一第一表面与一第二表面，该第一表面面向该基材，而该挡板配置于该第二表面上；一外墙板，配置于该主框架的外缘，且该外墙板背对该基材并沿着垂直该第二表面的方向延伸；以及一浮置遮罩，配置于该第一表面上，用以提供该开孔。一种镀膜机台，用以在一基材上的一镀膜区域上进行镀膜，该镀膜机台包括：一镀膜腔室，具有一腔室开口；一阴极载台，配置于该腔室开口，用以盛放一靶材；一阳极载台，配置于该镀膜腔室内，用以承载该基材；一遮罩总成，配置于该腔室开口，并位于该阴极载台与该阳极载台之间，该遮罩总成包括：一遮罩本体，具有一开孔，该基材位于该遮罩本体的一第一侧，而该开孔暴露出该镀膜区域；以及一挡板，位于该开孔旁，并且立于该遮罩本体背对该基材的一第二侧。如申请专利范围第6项所述之镀膜机台，其中该挡板由该开孔朝向该遮罩本体的外缘倾斜。如申请专利范围第6项所述之镀膜机台，其中该挡板围绕该开孔。如申请专利范围第8项所述之镀膜机台，其中该挡板与该开孔间隔一距离。如申请专利范围第6项所述之镀膜机台，其中该遮罩本体包括：一主框架，具有相对的一第一表面与一第二表面，该第一表面面向该基材，而该挡板配置于该第二表面上；一外墙板，配置于该主框架的外缘，且该外墙板背对该基材并沿着垂直该第二表面的方向延伸；以及一浮置遮罩，配置于该第一表面上，用以提供该开孔。