主权项 |
一种高分子真空气相沉积设备之气化装置,包括有:一石英玻璃容器,该石英玻璃容器系供容置高分子材料;一铜柱,该铜柱系设于该石英玻璃容器内;一金属感应片,该金属感应片上系设有一导孔及复数个细孔,而该导孔系供该铜柱活动穿设;以及一电磁感应控制组,该电磁感应控制组系设于该石英玻璃容器外缘;藉此,以供电磁感应控制组只对该金属感应片进行加热动作,有效控制快速聚热及降温,以进行极快速之气化动作与快速停止气化动作者。如申请专利范围第1项所述之高分子真空气相沉积设备之气化装置,其中,该石英玻璃容器系设有一容器本体及一上盖,该上盖系套设于该容器本体上者。如申请专利范围第1项所述之高分子真空气相沉积设备之气化装置,其中,该金属感应片系为不锈钢片者。如申请专利范围第1项所述之高分子真空气相沉积设备之气化装置,其中,该金属感应片系为铁片者。如申请专利范围第1项所述之高分子真空气相沉积设备之气化装置,其中,该电磁感应控制组系设有一电磁电控器及感应线圈,该电磁电控器系通过感应线圈,而作动该金属感应片,以供快速气化高分子材料者。如申请专利范围第2项所述之高分子真空气相沉积设备之气化装置,其中,该石英玻璃容器之上盖系进一步连接一真空管路者。 |