发明名称 高分子真空气相沉积设备之气化装置
摘要 本发明系在提供一种高分子真空气相沉积设备之气化装置,包括有一石英玻璃容器、一铜柱、一金属感应片及一电磁感应控制组。该石英玻璃容器系供容置高分子材料;该铜柱系设于该石英玻璃容器内;该金属感应片上系设有一导孔及复数个细孔,而该导孔系供该铜柱活动穿设;该电磁感应控制组系设于该石英玻璃容器外缘;藉此,以供电磁感应控制组只对该金属感应片进行加热动作,有效控制快速聚热及降温,以进行极快速之气化动作与快速停止气化动作者。
申请公布号 TWI375733 申请公布日期 2012.11.01
申请号 TW098106901 申请日期 2009.03.03
申请人 拉奇企业股份有限公司 发明人 林明达
分类号 C23C16/54 主分类号 C23C16/54
代理机构 代理人
主权项 一种高分子真空气相沉积设备之气化装置,包括有:一石英玻璃容器,该石英玻璃容器系供容置高分子材料;一铜柱,该铜柱系设于该石英玻璃容器内;一金属感应片,该金属感应片上系设有一导孔及复数个细孔,而该导孔系供该铜柱活动穿设;以及一电磁感应控制组,该电磁感应控制组系设于该石英玻璃容器外缘;藉此,以供电磁感应控制组只对该金属感应片进行加热动作,有效控制快速聚热及降温,以进行极快速之气化动作与快速停止气化动作者。如申请专利范围第1项所述之高分子真空气相沉积设备之气化装置,其中,该石英玻璃容器系设有一容器本体及一上盖,该上盖系套设于该容器本体上者。如申请专利范围第1项所述之高分子真空气相沉积设备之气化装置,其中,该金属感应片系为不锈钢片者。如申请专利范围第1项所述之高分子真空气相沉积设备之气化装置,其中,该金属感应片系为铁片者。如申请专利范围第1项所述之高分子真空气相沉积设备之气化装置,其中,该电磁感应控制组系设有一电磁电控器及感应线圈,该电磁电控器系通过感应线圈,而作动该金属感应片,以供快速气化高分子材料者。如申请专利范围第2项所述之高分子真空气相沉积设备之气化装置,其中,该石英玻璃容器之上盖系进一步连接一真空管路者。
地址 新北市汐止区康宁街463号