ＸＹθ移动载台以及使用该 ＸＹθ移动载台之曝光装置与检查装置

摘要

本发明提供一种即使对于平面板施加偏位负载，也不会产生摆动的XY θ移动载台。;其解决手段为具有保持工件9的板6，板6可在与板面正交的XY方向及相对于上述板面正交的轴周围的θ转动方向移动的XY θ移动载台中，其特征为，具备：载台底座1；固定于载台底座1，具有产生移动磁场的磁极的推力产生手段2；固定于载台底座1的3个基准支撑构件3；及固定于载台底座1的1个以上的辅助支撑构件4，板6藉着3个基准支撑构件3及1个以上的辅助支撑构件4被支撑的同时，和保持工件9的面的相反侧面设有形成围棋格子状的凸极的平面形的台板8，藉推力产生手段2所驱动的XY θ移动载台。

主权项

一种XY θ移动载台，具有保持工件的板，该板可在板面正交的XY方向及可相对于上述板面呈正交的轴周围的θ转动方向移动，其特征为：具备：载台底座；固定在上述载台底座，具有产生移动磁场的磁极的推力产生手段；固定在上述载台底座的3个基准支撑构件；及固定在上述载台底座的1个以上的辅助支撑构件，上述板为上述3个基准支撑构件及上述1个以上的辅助支撑构件所支撑，同时在和保持上述工件的面的相反侧的面上，设有形成围棋格子状的凸极的平面形台板，藉上述推力产生手段所驱动。如申请专利范围第1项记载之XY θ移动载台，其中，上述基准支撑构件相对于上述板面呈正交的Z方向的高度为固定，上述辅助支撑构件相对于上述板面呈正交的Z方向的高度为可变。如申请专利范围第1项记载之XY θ移动载台，其中，上述基准支撑构件，具备：具有空气喷出孔的气垫；支撑该气垫的台座；及相对于上述台座支撑上述气垫的球面轴承，上述辅助支撑构件，具备：具有空气喷出孔的气垫；支撑该气垫的汽缸或弹簧；及相对于上述汽缸或上述弹簧支撑上述气垫的球面轴承。一种XY θ移动载台，具有保持工件的板，该板可在板面正交的XY方向及可相对于上述板面呈正交的轴周围的θ转动方向移动，其特征为：具备：载台底座；具备固定在上述载台底座，具有产生移动磁场的磁极和空气喷出孔的气垫；支撑该气垫的台座；及相对于上述台座支撑上述气垫的球面轴承所成的3个基准支撑构件；及具备被固定在上述载台底座，具有气体喷出孔的气垫；支撑该气垫的汽缸或弹簧；相对于上述汽缸或上述弹簧支撑上述气垫的球面轴承所成的1个以上的辅助支撑构件，上述板为上述3个基准支撑构件及上述1个以上的辅助支撑构件所支撑，同时在和保持上述工件的面的相反侧的面上，设有形成围棋格子状的凸极的平面形台板，藉上述基准支撑构件所驱动。如申请专利范围第1项至第4项中任一项记载之XY θ移动载台，其中，上述辅助支撑构件被分散配置到比上述平面板所占据的区域更广的区域。如申请专利范围第1项至第4项中任一项记载之XY θ移动载台，其中，设置在上述板上的台板被分割为复数个。如申请专利范围第5项记载之XY θ移动载台，其中，设置在上述板上的台板被分割为复数个。一种曝光装置，系经由保持在光罩载台的光罩，对保持在XY θ移动载台的工件，照射来自光照射部的光，曝光处理上述工件，其特征为：上述XY θ移动载台为记载于申请专利范围第1项至第7项中任一项记载之XY θ移动载台。一种检查装置，系藉来自照明部的照明光，对保持在XY θ移动载台的工件进行照明，将照明后的工件加以摄影，根据摄影后的影像，检查形成在上述工件的图案的检查装置，其特征为：上述XY θ移动载台为记载于申请专利范围第1项至第7项中任一项记载之移动载台。