SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE, PRODUCTION METHOD FOR SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE, PRODUCTION METHOD FOR SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE WITH MULTILAYER FILM, AND DEVICE PRODUCTION METHOD,申请号KR20127022613-传众专利搜索

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发明名称	SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE, PRODUCTION METHOD FOR SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE, PRODUCTION METHOD FOR SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE WITH MULTILAYER FILM, AND DEVICE PRODUCTION METHOD
摘要
申请公布号	KR20120120384(A)	申请公布日期	2012.11.01
申请号	KR20127022613	申请日期	2011.03.04
申请人		发明人
分类号	H01L21/20;C30B29/20;H01L21/268	主分类号	H01L21/20
代理机构		代理人
主权项
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