发明名称 METHOD AND DEVICE FOR APPLYING A PRINTING SUBSTANCE
摘要 <p>Bei einem Verfahren zum Aufbringen von Drucksubstanz auf ein Substrat rotiert ein Drucksubstanzträger mit der Drucksubstanz darauf über dem Substrat und ein fokussierter Laserstrahl wird derart in den Drucksubstanzträger eingekoppelt, dass die Drucksubstanz abgelöst wird und auf die gegenüberliegende Oberfläche des Substrats übertragen wird. Der Drucksubstanzträger ist ein massiver runder Zylinder aus lichtdurchlässigem Material, der um seine Längsachse gedreht wird. Vor dem Auftreffen des Laserstrahls in die Schicht wird die Drucksubstanz flächig aufgebracht und dahinter wieder entfernt.</p>
申请公布号 WO2012146634(A1) 申请公布日期 2012.11.01
申请号 WO2012EP57604 申请日期 2012.04.26
申请人 SCHMID TECHNOLOGY GMBH;SAUTER, THOMAS;HOFMANN, MATTHIAS;BUCHNER, CHRISTIAN 发明人 SAUTER, THOMAS;HOFMANN, MATTHIAS;BUCHNER, CHRISTIAN
分类号 H01L21/67;B23K26/40;H01L31/0224 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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