发明名称 |
晶粒的可配置制程变异监控电路及其监控方法 |
摘要 |
一种晶粒的可配置制程变异监控电路及其监控方法,包括一环形振荡器,该环形振荡器包括多个第一标准胞元、多个第二标准胞元以及多个多工器,根据一选择信号以一第一模式或一第二模式产生一振荡信号;一分频器耦接该环形振荡器,以一分频倍数分频该振荡信号,产生一分频信号;以及一频率检测器耦接该分频器,藉由一基本时钟计数该分频信号的周期,产生一输出计数值;其中,该输出计数值与该晶粒的制程变异有关。 |
申请公布号 |
CN102760639A |
申请公布日期 |
2012.10.31 |
申请号 |
CN201110107702.6 |
申请日期 |
2011.04.27 |
申请人 |
瑞昱半导体股份有限公司 |
发明人 |
陈莹晏;李日农 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 |
代理人 |
余刚;吴孟秋 |
主权项 |
一种晶粒的可配置制程变异监控电路,包括:一环形振荡器,包括多个第一标准胞元、多个第二标准胞元以及多个多工器,根据一选择信号以一第一模式或一第二模式产生一振荡信号;一分频器,耦接所述环形振荡器,以一分频倍数分频所述振荡信号,产生一分频信号;以及一频率检测器,耦接所述分频器,藉由一基本时钟计数所述分频信号的周期,产生一输出计数值;其中,所述输出计数值与所述晶粒的制程变异有关。 |
地址 |
中国台湾新竹 |