避免氧化炉管污染的方法

摘要

一种避免氧化炉管污染的方法，将日常保养完成后的清洗由一次改为两次。其中，第一次为正常清洗，在第二次清洗前，先重新安装鳍状薄片，将下方的位置调到上方，然后再清洗一遍。这样，整个鳍状薄片的上下部分都会被清洗干净，不会再因温度低而留有污染死角。避免了因为清洗不干净而对正常生产的晶圆造成的污染。给实际生产带来了很大的益处。

主权项

一种避免氧化炉管污染的方法，所述氧化炉管的石英部件包括石英管、石英舟、和鳍状薄片，在所述氧化炉的日常保养完成后对所述石英部件进行清洗，步骤如下：第一次清洗，向所述氧化炉的炉管中通入氢气和氧气混合生成的水蒸气，同时通入二氯乙烯，在800～1200℃下，清洗20～60分钟；然后先重新安装所述鳍状薄片，将其下方的位置调到上方；最后进行第二次清洗，向所述氧化炉的炉管中通入氢气和氧气混合生成的水蒸气，同时通入二氯乙烯，在800～1200℃下，清洗20～60分钟。