多晶硅生产中废气和废液的处理系统及其方法

摘要

本发明的多晶硅生产中废气和废液的处理系统，在焚烧炉中将有毒难处理的氯硅烷（SiHCl3、SiCl4、SiH2Cl2）高温水解为性质稳定、易处理的氯化氢（HCI）、二氧化硅（SiO2）和少量的Cl2。氯化氢通过反复喷淋吸收，循环增浓后变为盐酸，就可加以回收。二氧化硅通过过滤器收尘回收。焚烧烟气经余热锅炉降温产生的热量（低压蒸气）除了供蒸发浓缩装置（JVC）外，剩余部分还可并入厂区主蒸汽管网加以回收。这样整个系统的氯、SiO2、热能都进行了回收利用，不仅产生了一定的经济效益，降低了废气、废液处理系统的运行成本，也减少了资源浪费，避免了污染物的二次污染转。

主权项

多晶硅生产中废气和废液的处理系统，它主要包括废气、废液输送管道，和烟囱排放管道，其特征在于：废气、废液输送管道与烟囱排放管道之间依次设有焚烧炉、余热锅炉、过滤器、盐酸回收装置、碱洗塔和汽水分离器，上述各部件之间通过烟气管道相连，盐酸回收装置与一盐酸储罐相连，碱洗塔与一盐水池相连，盐水池与一蒸发浓缩装置相连。