一种激光加工系统及其方法

摘要

本发明提供一种激光加工系统及其方法，该方法靠一激光打标系统实现，该激光打标系统包括一曲率半径为R的球面凹形工作台、位于该球面凹形工作台球心处的振镜系统；球面凹形工作台的圆心在振镜系统上；其中，该振镜系统包括X振镜片和Y振镜片；加工材料贴在所述的球面凹形工作台上，形成与工作台面一致的凹形球面；振镜系统位于该球面凹形工作台正上方，球面凹形工作台的圆心在振镜系统上；激光的焦距设定为R，激光焦点随振镜的摆动，其运动轨迹与球面凹形工作台的工作面重合。本发明的有益效果是不需要进行变焦校正和F-THETA镜头校正，以弥补以球面轨迹运动的激光焦点和原来平面工作台之间存在的距离误差。

主权项

一种激光加工系统，其特征在于：其包括一曲率半径为R的球面凹形工作台、位于该球面凹形工作台正上方的振镜系统；球面凹形工作台的圆心在振镜系统上；其中，该振镜系统包括X振镜片和Y振镜片。