Verfahren und Vorrichtung für ein nicht-kontaktierendes Messen einer Oberflächenform

摘要

Auch wenn ein Rückstrahl L' von einem zu messenden Werkstück 1 nicht der Mitte eines zweiteiligen Sensors S entspricht, wird ein Korrekturwert in Übereinstimmung mit einer Spannungsdifferenz zwischen den zwei Sensoren a und b des zweiteiligen Sensors S berechnet, wenn die Spannungsdifferenz innerhalb eines Nachbarschaftsbereichs liegt. Der Korrekturwert wird zu einer tatsächlichen Position einer Objektivlinse 4 in der vertikalen Richtung addiert, um eine Bewegungsgröße der Objektivlinse 4 nach oben zu einem fokussierten Zustand (einem Zustand, in dem der Rückstrahl L' der Mitte des zweiteiligen Sensors entspricht) zu berechnen.