发明名称 THIN FILM-FORMING MATERIAL AND METHOD FOR PRODUCING THIN FILM
摘要
申请公布号 KR101195713(B1) 申请公布日期 2012.10.29
申请号 KR20077000694 申请日期 2005.05.31
申请人 发明人
分类号 C23C16/40;C07C49/92;C07F3/06;C23C16/18 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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