Verbundmaterial mit verbesserter chemischer Beständigkeit und Verfahren zu dessen Herstellung

摘要

Verbundmaterial umfassend ein Substrat, eine auf dem Substrat befindliche organische Haftvermittlerschicht aus einer Kohlenstoff enthaltenden Verbindung, eine auf der Haftvermittlerschicht befindliche anorganische Barriereschicht aus einer Verbindung und eine auf der Barriereschicht befindliche organische Schutzschicht mit chemischer Barrierewirkung aus einer mindestens 10% Kohlenstoff enthaltenden Verbindung, wobei die Haftvermittlerschicht SiOxCy mit 1,0 ≤ x ≤ 2,8 und 0,1 ≤ y ≤ 2,8; die Barriereschicht SiOx mit 1,0 ≤ x ≤ 2,8 und die Schutzschicht SiOxCy mit 1,0 ≤ x ≤ 2,8 und 0,1 ≤ y ≤ 2,8 umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass der Kohlenstoffgehalt der Schutzschicht größer als der Kohlenstoffgehalt der Haftvermittlerschicht ist.