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Dichtung (1) für eine als Kammer (2) bezeichnete Substratbehandlungskammer, wobei zwei als Behälter (3) und Verschluss (4) bezeichnete Teile der Kammer (2) miteinander verbindbar ausgeführt sind und jeweils eine Dichtfläche aufweisen (5), an der beide Teile überlappend und die Dichtflächen (5) umlaufend geschlossen verlaufend ausgeführt sind, wobei die Dichtung (1) die Dichtflächen (5), zwei Dichtgummis (6, 7), einen Absaugkanal (8) und mindestens einen mit einer Vakuumpumpe verbundenen Absaugstutzen (9) aufweist, die Dichtgummis (6, 7) auf mindestens einer der umlaufenden Dichtflächen (5) befestigt und zueinander beabstandet angeordnet sind, der Absaugkanal (8) als ein gasleitender von den Dichtgummis (6, 7) und den Dichtflächen (5) eingefasster Kanal ausgebildet ist und der Absaugstutzen (9) mit dem Absaugkanal (8) verbunden ist, wobei einen Anpressdruck (10) bereitstellbare Mittel zum Zusammendrücken der Dichtung (1) vorgesehen sind und wobei außerhalb der Kammer (2) ein Außendruck (13) anliegend und innerhalb der...
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