发明名称
摘要
申请公布号 JP5059608(B2) 申请公布日期 2012.10.24
申请号 JP20070527480 申请日期 2005.05.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/461;H01L21/4763;H01L21/768 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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